鍍膜料點

膜料點不良也是鍍膜產品的一個常見問題，在日企、臺企把膜料點稱為“斑孔”

顧名思義，膜料點就是蒸鍍中，大顆粒膜料點隨著膜料蒸汽分子一起蒸鍍到了基片的表面，在基片表面形成點狀的突起，有時是個別點，嚴重時是成片的細點，大顆粒點甚至可以打傷基片表面。

各種膜料的蒸發特性是不一樣的，特別是熔點溫度和蒸發溫度有很大差異

熔點溫度大于蒸發溫度的材料，由固態直接氣化蒸發，是升華材料；

熔點溫度小于蒸發溫度的材料，由固態先化成液態爾后在轉換成氣態蒸發，是非升華材料；

熔點溫度與蒸發溫度相當的材料，由固態到氣態蒸發，邊融化邊蒸發。是半升華材料。

其中非升華材料最容易產生膜料點，因為液態的膜料繼續加熱會沸騰，沸騰中膜料中的氣泡溢出，飛濺膜料點的可能性加大。有時在材料預熔時就有很大的飛濺。

膜料受潮，預熔或蒸鍍時水汽逸出，也會造成飛濺產生。

膜料不純、膜料參雜，即膜料中有了熔點溫度、蒸發溫度不一致的材料，這也是膜料點產生的原因。

改善思路：選用好的膜料、充分預溶、控制速率。

改善對策：

㈠ 選擇雜質少的膜料

㈡ 對易飛濺的膜料選擇顆粒合適的膜料

㈢ 膜料在鍍前用網篩篩一下

㈣ 精心預熔，MgF2務必熔透一次蒸鍍所需膜料，而Ta2O5 和TiO2必須徹底熔透。

㈤ 用一把電子槍鍍制幾種膜料時，防治坩堝轉動中膜料參雜及擋板掉下 膜料渣造成膜料污染。一旦發現坩堝膜料有污染，應立即更換。

㈥ 盡最大可能使蒸發舟、坩堝干凈。（勤打掃）。

㈦ 選擇合適的蒸發速率及速率曲線的平滑。特別是非升華材料，蒸發速率不宜高。

㈧ 膜料去潮，將待用膜料用培養皿盛放在真空室干燥

注意：有時膜層內有一些細小的點子，有可能不是膜料點，而是灰塵點，處理的方法與膜料點不良是不同的，應嚴格區分，分別處理。